ESD-ren aurkako alumina zeramikazko piezak, wafer estatikoen maneiurako
St.Cera-ren ESD (deskarga elektrostatiko) seguruko alumina zeramikazko piezak % 99,8ko purutasun handiko Al₂O₃-z fabrikatzen dira, 10⁶–10⁹ Ω/sq-ko gainazaleko erresistentzia pertsonalizatuarekin, dopatze edo estaldura prozesu jabedun baten bidez lortua. Pieza hauek karga estatikoa eraginkortasunez xahutzen dute, erdieroale sentikorrei eta gailuei kalte elektrostatikoak eragotziz. Oinarrizko materialak bere flexio-erresistentzia handia (361 MPa), gogortasuna (16 GPa) eta erresistentzia dielektrikoa (15×10⁶ V/m) mantentzen ditu. ESD seguruko zeramikazko piezen artean daude muturreko efektoreak, altxatze-pinoak, gida-errailak eta FAB automatizaziorako osagarri pertsonalizatuak.
Zehaztapenak(% 99,8ko Al₂O₃-n oinarrituta, ESD tratamenduarekin):
| Jabetza | Balioa |
| Oinarrizko materiala | % 99,8ko alumina |
| Gainazaleko Erresistentzia (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/koadratu |
| Dentsitatea | 3,93 g/cm³ |
| Flexio-indarra | 361 MPa |
| Vickers gogortasuna | 16 GPa |
| Young-en modulua | 380 GPa |
| Hedapen Termikoa (25-1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Gehienezko funtzionamendu-tenperatura | 800 °C |
| Indar dielektrikoa (bolumen) | 15×10⁶ V/m |
Oharra: ESD gainazaleko erresistentzia ez dago emandako materialen propietateen tauletan. Goiko tartea zeramika disipatiboen industria-estandarra da. Jarri gurekin harremanetan proben txostenak jasotzeko.
Aplikazioak:
● ESDren aurkako muturreko efektoreak oblea transferitzeko
● Lurrerako pinak eta ESD euskarriak FAB ekipamenduan
● Gailu estatiko sentikorretarako proba-entzungailuak
● Gela garbietako tresneria, non kontrol estatikoa funtsezkoa den
Fabrikazioa eta Kalitatea:
Alumina prozesamendu estandarra + ESD gainazaleko tratamendua → gainazaleko erresistentzia ANSI/ESD STM11.11 araudiaren arabera neurtua. Pieza bakoitza %100ean probatzen da eraztun-elektrodo zentrokide batekin.
Abantailak:
● ESDrekin lotutako etekin-galerak saihesten ditu
● Zeramiken erresistentzia mekanikoa eta erresistentzia kimikoa mantentzen ditu
● Deskarga estatikotik partikularik ez sortzea
