Al2O3 eta BeO substratu materialen errendimendu abantaila zabalekin batera, aluminio nitruro (AlN) zeramikoak, eroankortasun termiko handia (monokristalaren eroankortasun termiko teorikoa 275W/m▪k da, polikristalaren eroankortasun termiko teorikoa 70~210W/m▪k da), konstante dielektriko baxua, silizio monokristalarekin bat datorren hedapen termiko koefizientea eta isolamendu elektriko propietate onak dituenak, zirkuitu substratuetarako eta mikroelektronika industriako ontziratzeko material aproposa da. Tenperatura altuko egiturazko zeramikazko osagaietarako ere material garrantzitsua da, tenperatura altuko propietate mekaniko, propietate termiko eta egonkortasun kimiko onak dituelako.
AlN-ren dentsitate teorikoa 3,26 g/cm3 da, MOHS gogortasuna 7-8 da, giro-tenperaturako erresistentzia 1016 Ωm baino handiagoa da eta hedapen termikoa 3,5 × 10-6 / ℃ (giro-tenperatura 200 ℃). AlN zeramika puruak koloregabeak eta gardenak dira, baina hainbat koloretakoak izan daitezke, hala nola grisa, zuri grisaxka edo hori argia, ezpurutasunengatik.
Eroankortasun termiko handiaz gain, AlN zeramikei abantaila hauek ere badituzte:
1. Isolamendu elektriko ona;
2. Siliziozko monokristalarekin antzeko hedapen termikoaren koefizientea du, Al2O3 eta BeO bezalako materialen gainetik;
3. Al2O3 zeramikekin erresistentzia mekaniko handia eta antzeko flexio-erresistentzia;
4. Konstante dielektriko eta galera dielektriko moderatuak;
5. BeO-rekin alderatuta, AlN zeramiken eroankortasun termikoa tenperaturak gutxiago eragiten du, batez ere 200 ℃-tik gora;
6. Tenperatura altuko erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia;
7. Ez-toxikoa;
8. Erdieroaleen industrian, metalurgia kimikoaren industrian eta beste industria-eremu batzuetan aplikatu daiteke.
Argitaratze data: 2023ko uztailaren 14a