Al2O3 eta BeO substratu-material tradizionalen errendimendu abantailekin konbinatuta, Aluminio Nitruroa (AlN) zeramika, eroankortasun termiko handia duena (monokristalen eroankortasun termiko teorikoa 275W/m▪k da, polikristalen eroankortasun termiko teorikoa 70~210W/m▪k da). ), konstante dielektriko baxua, kristal bakarreko silizioarekin bat datorren hedapen termikoaren koefizientea eta isolamendu elektrikoaren propietate onak dira mikroelektronika industrian zirkuitu substratuetarako eta ontzietarako material aproposa.Gainera, tenperatura altuko egitura zeramikazko osagaietarako material garrantzitsua da tenperatura altuko propietate mekaniko, propietate termiko eta egonkortasun kimiko onengatik.
AlN-ren dentsitate teorikoa 3,26 g/cm3 da, MOHS gogortasuna 7-8 da, giro-tenperaturako erresistentzia 1016Ωm baino handiagoa da eta hedagarritasun termikoa 3,5 × 10-6/℃ (200 ℃ giro-tenperatura).AlN zeramika hutsak koloregabeak eta gardenak dira, baina grisa, zuri grisaxka edo horia argia bezalako kolore desberdinak izango lirateke, ezpurutasunak direla eta.
Eroankortasun termiko handiaz gain, AlN zeramikak abantaila hauek ere baditu:
1. Isolamendu elektriko ona;
2. Antzeko hedapen termikoko koefizientea silizio monokristalarekin, Al2O3 eta BeO bezalako materialen gainetik;
3. Erresistentzia mekaniko handia eta antzeko malgutasun-erresistentzia Al2O3 zeramikarekin;
4. Konstante dielektriko moderatua eta galera dielektrikoa;
5. BeO-rekin alderatuta, AlN zeramikaren eroankortasun termikoa gutxiago eragiten du tenperaturak, batez ere 200 ℃-tik gora;
6. Tenperatura handiko erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia;
7. Ez-toxikoak;
8. Erdieroaleen industrian, metalurgia kimikoaren industrian eta beste industria-esparruetan aplikatzea.
Argitalpenaren ordua: 2023-07-14